Dielectric films for advanced microelectronics
- Författare
- (Edited by Mikhail Baklanov, Martin Green, and Karen Maex.)
- Genre
- Bibliografi, Electronic books.
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| John Wiley & Sons | c2007 | England, Chichester, England, Hoboken, NJ | 1 online resource (xxii, 486 sidor.) ill. | 978-0-470-01794-4 |